Umeå universitets logga

umu.sePublikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
An Invar-based dual Fabry-Perot cavity refractometer for assessment of pressure with a pressure independent uncertainty in the sub-mPa region
Umeå universitet, Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten, Institutionen för fysik.ORCID-id: 0000-0001-5790-2185
Umeå universitet, Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten, Institutionen för fysik.ORCID-id: 0000-0002-3261-9903
Measurement Science and Technology, RISE Research Institutes of Sweden, Borås, Sweden.
Umeå universitet, Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten, Institutionen för fysik.ORCID-id: 0000-0002-8580-9700
2023 (Engelska)Ingår i: Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics, ISSN 2166-2746, E-ISSN 2166-2754, Vol. 41, nr 6, artikel-id 064206Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

An updated version of an Invar-based dual Fabry-Perot cavity refractometer utilizing the gas modulation methodology has been characterized with regard to its ability to assess gas pressure in the low pressure regime, defined as the regime in which the instrumentation is mainly limited by the constant term a in the [ ( a ) (2) + ( b x P ) (2) ] (1 / 2) expression for the uncertainty. It is first concluded that this ability is predominantly limited by three entities, viz., the empty cavity repeatability, the residual gas pressures in the evacuated (measurement) cavity, and the contamination of the gas residing in the measurement cavity that originates from leaks and outgassing. We then present and utilize methods to separately estimate the uncertainty of the updated refractometer from these entities. It was found that, when utilizing gas modulation cycles of 100 s and when addressing nitrogen, the system can assess pressure in the low pressure regime with an expanded uncertainty ( k = 2) of 0.75 mPa, mainly limited by the empty cavity repeatability and outgassing of hydrogen. This is more than 1 order of magnitude below the previously assessed low pressure performance of the instrumentation.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
American Institute of Physics (AIP), 2023. Vol. 41, nr 6, artikel-id 064206
Nationell ämneskategori
Fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:umu:diva-228714DOI: 10.1116/6.0003149ISI: 001128551400004Scopus ID: 2-s2.0-85180985439OAI: oai:DiVA.org:umu-228714DiVA, id: diva2:1891239
Forskningsfinansiär
EU, Horisont EuropaVetenskapsrådet, 2020-05105Vinnova, 2018-04570Tillgänglig från: 2024-08-21 Skapad: 2024-08-21 Senast uppdaterad: 2024-08-21Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(2898 kB)72 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 2898 kBChecksumma SHA-512
32abc755daaffd929d1f4b59c5d54c74910ac7e1c32062c588a8a9c960e73761d48deb057ea284f836506d054ac520fed5ab721bd5f4e943e46c2074eb5b60ae
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Person

Silander, IsakZakrisson, JohanAxner, Ove

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Silander, IsakZakrisson, JohanAxner, Ove
Av organisationen
Institutionen för fysik
I samma tidskrift
Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics
Fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 73 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 208 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf